ZQ3050×16機械搖臂鉆床切線規(guī)的尺度長度、光學讀數(shù)顯微鏡、雙頻激光干涉器等。標準長度以測量雙頻激光干涉器為基準。旋轉(zhuǎn)運動檢測工具有高精度圓光柵、ZQ3050×16機械搖臂鉆床360個齒精度的標準轉(zhuǎn)臺、角多面體。
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1、直線運動定位精密度檢測一般是在機床空載狀況下開展的，依據(jù)標準規(guī)定數(shù)控機床檢測是以激光測量
ZQ3050×16機械搖臂鉆床為準的，假如沒有激光測量儀器，還可以依據(jù)標準刻線尺開展比照測量。在這種檢測自身方法更有利的條件下，掩模版尺度的精度ZQ3050×16機械搖臂鉆床和薪酬因素可控制在0.004~0.005mm/千毫米的精度。
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2、定位精度是通過坐標軸快速移動一定距離來測量的，因為每個機床的快速點定位過程中都有自動加/減速過程，加/減速過程的時間常數(shù)由數(shù)控系統(tǒng)的系統(tǒng)ZQ3050×16機械搖臂鉆床系統(tǒng)參數(shù)(也稱機床數(shù)據(jù))決定。改變該參數(shù)值可以改變加/減速過程的時間常數(shù)，因此在調(diào)整過程中修改相關(guān)系統(tǒng)參數(shù)也會影響定位精度。
